溫區：3 個獨立溫區控溫，每個溫區含主控溫和和超溫保護并可獨立控制。
過濾系統：加熱、冷卻段新風口及運風兩側均配中效過濾器過濾，保證產品表面潔凈度2萬級以內。
冷卻段：冷卻段由自然過渡冷卻段和強制風冷段組成，自然過渡冷卻段長300mm，
強制風冷卻段長1300mm，冷卻段兩側裝中效過濾器，腔內微正壓，防粉塵進入污染產品，保證潔凈度2萬級以內。
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